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全自動(dòng)清洗機(jī) 適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝 6寸以下wafer全自動(dòng)清洗工藝處理 適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線(xiàn) 可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

清洗機(jī) 適用于5、6英寸Mask清洗工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 自動(dòng)清洗多種規(guī)格MASK掩膜光罩 可接受不同規(guī)格MASK清洗定制

半柜式/全柜式清洗機(jī) 適合于8英寸及以下晶圓的單片清洗工藝 根據(jù)客戶(hù)要求可選配高壓、兆聲、二流體等多種清洗工藝 不銹鋼半柜式、柜式柜體,觸摸式人機(jī)交互界面 耐腐蝕透明觀(guān)察窗,配置專(zhuān)業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng) 可配置清洗液、氮?dú)鉁乜毓δ? 可配置增壓泵高壓清洗 高精度清洗臂,可靈活設(shè)置清洗工藝

清洗機(jī) 適用于5、6英寸Mask清洗工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 自動(dòng)清洗多種規(guī)格MASK掩膜光罩 可接受不同規(guī)格MASK清洗定制

全自動(dòng)噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝 全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能 供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào) 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào) 觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

全自動(dòng)/軌道式去膠剝離機(jī) 適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝（Liftoff工藝） 不銹鋼柜體,觸摸式人機(jī)交互界面 耐腐蝕透明觀(guān)察窗,配置專(zhuān)業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng) 8寸以下化合物（鉭酸鋰等）全自動(dòng)去膠剝離工藝處理 適合聲表濾波器（SAW）行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線(xiàn) 可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊