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三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)
簡要描述:

OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領域。

  • 產品型號:OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-03-13
  • 訪  問  量:2578

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域化工,能源,電子/電池基本參數(shù)最高工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃

產品特點:

帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);

射頻電源可實現(xiàn)等離子增強,從而顯著降低實驗溫度;

四通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調控;

此款設備可安裝控制模塊,將溫度設置和溫度曲線導入到電腦(圖2、3);

此款設備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。

image.pngimage.pngimage.pngimage.png 

基本參數(shù):

最高工作溫度1500℃<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;

三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護;

•·輸入電源: 208-240V,AC,單相;最大功率:6.6 KW;

內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

注意:此設備不標配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關事宜。

 

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達10-2Torr

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240V, AC50/60Hz;

氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量:

爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

爐體下端移動柜:1800mm L'600mm W'600mm H

凈重:100 kg

運輸重量:550 kg

承諾:

一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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